케이에스티주식회사
초순수제조 사업부
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일반적으로 16㏁/cm ~ 18.2㏁/cm 정도의 전기적 저항을 가진 화합물질 및 합성물질 등이 거의 제거된 고순도의 순수를 말한다.
최근 국제표준화기구인 ASTM(American Society for Testing and Materials, (미국재료시험협회) 기준에 따라 아래와 같이 3단계로 분류하고 있으며, 규격마다 만족해야 하는 항목별 오염한계를 정해 놓고 있다.
ASTM TYPE I 시약급 순수 |
AASTM TYPE II 분석급 순수 |
AASTM TYPE III 일반 실험실용 순수 |
Type Ⅰ | Type Ⅱ | Type Ⅲ | |
Conductivity at 25℃(㎲/cm) | 0.056 | 0.1 | 0.25 |
Resistivity at 25℃ (MΩ·cm) | 18.2 | 13 | 8 |
TOC/ppb (μg/l) | 50 | 50 | 200 |
Sodium (μg/l) | 1 | 5 | 10 |
Chloride (μg/l) | 1 | 5 | 10 |
Total Silica (μg/ml) | <2 | <3 | <500 |